Park NX-HDM對於使用介質和平面基板的工程師來說,識別納米級缺陷的任務是一個非常耗時的過程。Park NX-HDM 是一種原子力顯微鏡系統,可通過自動缺陷識別、掃描和分析將缺陷審查過程加快一個數量級。Park NX-HDM 直接與各種光學檢測工具相連,從而顯著提高了自動缺陷檢查的吞吐量。此外,Park NX-HDM 提供精確的亞埃表面粗糙度測量,一次次掃描。Park NX-HDM 連同其業界最低的本底噪聲和獨特的 True Non-Contact™ 技術,是市場上用於表面粗糙度測量的最準確的 AFM。
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